描述賀德克hydac壓力傳感器

HDA 4346-A-0025-000-F1 

產(chǎn)品簡(jiǎn)介：

壓力賀德克壓力傳感器以機(jī)械結(jié)構(gòu)型的器件為主，以彈性元件的形變指示壓力，但這種結(jié)構(gòu)尺寸大、質(zhì)量重，不能提供電學(xué)輸出。

隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展，半導(dǎo)體壓力賀德克壓力傳感器也應(yīng)運(yùn)而生。其特點(diǎn)是體積小、質(zhì)量輕、準(zhǔn)確度高、溫度特性好。

隨著MEMS技術(shù)的發(fā)展，半導(dǎo)體賀德克壓力傳感器向著微型化發(fā)展，而目其功耗小、可靠性高。

賀德克hydac壓力傳感器HDA 4346-A-0025-000-F1 

產(chǎn)品圖片：

靜電容量型壓力賀德克壓力傳感器，是將玻璃的固定極和硅的可動(dòng)極相對(duì)而形成電容，將通過(guò)外力(壓力)使可動(dòng)極變形產(chǎn)生的靜電容量的變化轉(zhuǎn)換成電氣信號(hào)。

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在選擇壓力賀德克壓力傳感器的時(shí)候我們要考慮他的綜合箱度，而壓力賀德克壓力傳感器的精度受哪些方面的影響呢?

其實(shí)造成賀德克壓力傳感器誤差的因素有很多，首先的偏移量誤差;由于壓力賀德克壓力傳威器在整個(gè)壓力范圍內(nèi)垂直偏移保特恒定，因此查換器擴(kuò)散和激光調(diào)節(jié)修的變么將產(chǎn)生偏移量誤差。

其次是靈敏度誤差:產(chǎn)生誤差大小與壓力成正比。如果設(shè)備的靈敏度高于典型值，靈敏度誤差將是壓力的遞增函數(shù)。

如果靈敏度低于典型值，那么靈敏度誤差將是壓力的遞減函數(shù)。該誤差的產(chǎn)生原因在于擴(kuò)散過(guò)程的變化。

第三是線(xiàn)性誤差:這是一個(gè)對(duì)壓力賀德克壓力傳感器初始誤差影響較小的因素，該誤差的產(chǎn)生原因在于硅片的物理非線(xiàn)性，

但對(duì)于帶放大器的賀德克壓力傳感器，還應(yīng)包括放大器的非線(xiàn)性。線(xiàn)性誤差曲線(xiàn)可以是凹形曲線(xiàn)，也可以是凸形曲線(xiàn)稱(chēng)重賀德克壓力傳感器。

描述賀德克hydac壓力傳感器

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