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真空過濾器是將從大氣中吸入的污染物（主要是塵埃）收集起來，以防止真空系統(tǒng)中的元件受污染而出現(xiàn)故障。故吸盤與真空發(fā)生器（或真空閥）之間，應設置真空過濾器。真空發(fā)生器的排氣口、真空閥的吸氣（或排氣口）和真空泵的排氣口也都應裝上消音器，這不僅降低噪聲而且能起過濾作用，以提高真空系統(tǒng)工作的性。
對真空過濾器的要求是，濾芯污染程度的確認簡單，清掃污染物容易，結構緊湊，不致使真空到達時間增長。
SMC真空過濾器有三個系列：ZFA、ZFB、ZFC。這三種系列的真空過濾器結構原理圖分別如下。
SMC ZFA系列真空過濾器是箱式結構，便于集成化。濾芯呈疊褶形狀，故過濾面積大，可通過流量大，使用周期長。
SMC ZFB系列真空過濾器是管式連接。由于使用了萬向接頭，配管可在360°范圍內(nèi)自由安裝。使用快換接頭，裝卸配管迅速。
SMC ZFC系列真空過濾器是小型直通式（進出口在條線上）快換接頭連接，不需工具便可更換濾芯。當過濾器兩端壓降大于0.02MPa時，濾芯應拆下清洗或更換。
SMC真空過濾器耐壓0.5MPa，濾芯耐壓差0.15MPa，其他技術參數(shù)請參見樣本。
在安裝SMC真空過濾器時，注意進出口不得裝反。配管處不得有泄露。維修時，密封件不得損傷。過濾SMC真空器進口壓力不要超過0.5MPa，這點可通過調(diào)節(jié)減壓閥和節(jié)流閥來。真空過濾器的流速不大，空氣中的水分不會凝結，故改過濾器無需分水功能，不要用AF系列過濾器取代ZF系列過濾器，避免變差。
| ZFA100-01 | ZFB100-04 | ZFB300-10 | ZFC100-06X17 |
| ZFA100-01L | ZFB100-06 | ZFB301-11 | ZFC101-03B |
| ZFA200-02 | ZFB101-07 | ZFB401-13 | ZFC101-07B |
| ZFA200-02L | ZFB200-06 | ZFC100-04B | ZFC200-06B |
| ZFA200-02R | ZFB200-08 | ZFC100-04BX9 | ZFC200-06X17 |
| ZFA200-F02 | ZFB201-07 | ZFC100-04X17 | ZFC200-08 |
| ZFA200-T02R | ZFB300-08 | ZFC100-06B | ZFC200-08B |
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